加工定制 | 是 | 种类 | 元素半导体 |
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品牌 | 北京嘉安恒科技 | 产地 | 北京 |
电阻率 | 定制 | 晶向 | <100> <110> <111> |
表面处理 | 单抛/双抛/研磨 |
产品简介
二氧化硅片是指在硅片表面热生长一层均匀的介质薄膜,用作绝缘、或者掩模材料。氧化工艺包括高温干氧氧化、高温湿氧氧化。
产品规格说明
外形尺寸: | 2~12" | 可定制 |
型号 | N型/ P型、本征(不掺杂) | 客户要求 |
直径: | 50~300mm |
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厚度: | 250 ~600 μm | 可定制 |
厚度误差 | ±10μm |
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氧化层厚度 | 50nm~1000nm | 客户要求 |
平整度(TIR) | < 3 μm |
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翘曲度(BOW) | ≤15μm |
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TTV: | ≤15μm |
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粗糙度 | <0.5nm |
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电阻率: | 0.001-15000 (Ω·cm) | 客户要求 |
晶向 | 〈100〉;〈110〉;〈111〉 |
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级别 | IC级 |
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类型 | 研磨片,单抛片,双抛片 | 可定制 |